当镀膜玻璃针孔产生的原因
镀膜玻璃针孔产生的原因
针孔的产生实际上和膜层与基板结合的牢固度有直接关系。因此,控制好基板清洁度和控制好膜层的质量对减少针孔起到很好地促进作用。
1.锡槽光畸变点是产生针孔的主要原因
(1)大多数针孔的产生基本上是由于锡槽气氛不好,形成硫化亚锡或氧化亚锡挥发物,掉落到玻璃板上导致玻璃存在光畸变点造成的。而大多数伪针孔基本是锡槽低温区掉落物造成的。
(2)有光畸变点位置的膜层附着不牢固,会产生脱落,从而产生针孔。在镀膜器后的低温区产生的硫化物脱落掉到膜层上,有可能会因重力破坏膜层,也可能附着在膜层表面。当附着在膜层表面时,会破坏表层膜层质量,当钢化时变薄的膜层会因氧化形成伪针孔。
2.镀膜系统维护不到位会导致针孔的产生
(1)镀膜进气管路里的粉尘导致
当管路里出现渗漏或气体不纯,硅烷会与氧气发生反应,形成粉尘。镀膜时粉尘会随反应气体一起经镀膜器喷射到玻璃板上。粉尘和玻璃板结合不牢固脱落形成针孔。因此要定期清理管路。同时镀膜间隔超过1周以上时必它不但是大批工农业产品不可或缺的基本生产环节须对管路进行检漏。气密性试验发现漏点及时处理。同时更换气瓶及气瓶组时,增加置换次数并测漏,防止空气进入。
(2)镀膜器清理不干净会导致针孔的产生
当镀膜器及冷却装置清理不干净时,会产生和并标记此时的横梁位置为0点管路清理不干净同样的问题。附着的粉尘会掉国强则民强落到玻璃板上、膜层里或膜层上,从而导致针式中:M——摆锤力矩;孔的产生。
3.钢化后出现针孔
硅质膜的沉积一般在650℃左右的玻璃上进行。这种条件下镀的硅膜通常是非晶,远胜于晶体膜。这种膜层有两个特点,一是出现H悬挂键,二是Si-Si键比较弱。当钢化温度过高时,会造成膜层氧化现象。
针孔和膜层结构、锡槽大环境有关,是影响硅质阳光镀膜产生的主要原因。只要理解针孔形成的机理,就能找到其缺陷形成的原因,从而减少缺陷的产生。
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